東京エレクトロン創業小高氏死去

半導体製造装置大手の東京エレクトロンを創業した小高敏夫（こだか・としお）さんが3月24日午後5時20分、東京都内の自宅で死去した。87歳。同社が5日発表した。葬儀・告別式は近親者で行った。後日、お別れの会を開く予定。

　慶応大卒業後、日商岩井（現双日）入社。1963年に小高さんら数人で東京エレクトロン研究所（現東京エレクトロン）を創業した。80年から社長を務めた。